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德高潔多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統(tǒng)使用時利用上下移動和旋轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動高壓氣體噴吹以及特殊旋轉(zhuǎn)刷組合機構(gòu)近距離對反應(yīng)釜表面進行噴吹和接觸式清掃達到清洗的目的
自動化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是德高潔獨立自主研發(fā)，其工作原理是以水力自驅(qū)動三維自動旋轉(zhuǎn)噴頭 010－64437473。通過清洗旋轉(zhuǎn)調(diào)速機構(gòu)可滿足各工況的要求
。清洗的同時采用特殊除塵凈化器一次性進行除塵凈化。[查看詳情]
下載產(chǎn)品手冊
，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面
，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射
，用專用清洗劑等為主要清洗液
，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗
，用高純水沖洗
，完成清洗過程。[查看詳情]
下載產(chǎn)品手冊
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多晶硅還原爐體及鐘罩干式清理系統(tǒng)